目前,國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國(guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司,占國(guó)內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用范圍越來越廣泛。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù),以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。
對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。
特種氣體的重要性:在半導(dǎo)體工藝中,從芯片生長(zhǎng)到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體分類:從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種,廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體,隨著工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)(特別是微電子技術(shù))的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)新動(dòng)力,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。
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